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    半導體製程概論2版
    編/著者： 施敏.梅凱瑞
    出版日期：2008-11-29
    ISBN：9789868439535
    參考分類(CAT)：教育學習
    參考分類(CIP)： 電機工程

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      | 內容簡介 |
    內容簡介
    本書清楚解釋從晶體成長到形成積體元件與電路的製造過程中，所有主要步驟的理論與實作層面的重點。各章穿插附有題解的範例，及學習目標與重要觀念的總結，並附習題為讀後作業。適合作為物理、化學、電機工程、化學工程和材料科學等系所之大四或碩一階段之教材。亦可配合學校實驗室進行相關實作教學，及做為半導體產業界工程師與科學家的參考資料