國家實驗研究院儀器科技研究中心策劃，針對奈米科技在各領域的應用，編撰出版《奈米檢測技術》專書。全書共九章、六百餘頁，內容架構係以整體奈米科技為開端，接續介紹在奈米尺度下如何檢測各種元件和材料奈米結構所具備之力、光、電、磁等性質、儀器設備與關鍵技術，最後則以具前瞻性的奈米檢測技術作為未來的展望。

序言　vii編審委員　ix作者　xi第一章奈米科技概論　11.1前言　11.2奈米材料之特性　21.3奈米材料之結構　31.3.1奈米管　41.3.2奈米線　41.3.3量子點與量子井　51.3.4奈米孔洞材料　51.3.5奈米複合物　61.4製備技術　61.5應用領域　71.5.1奈米元件　71.5.2磁性元件　81.5.3光電元件　81.5.4生醫應用　91.5.5奈米材料其他應用　91.6結論　10．參考文獻　10第二章奈米檢測簡介132.1概述　132.2奈米尺寸與計量單位　142.3檢測項目　152.3.1尺寸、外觀、粒徑、膜厚及力學特性　152.3.2機械特性　152.3.3光學特性　162.3.4表面結構　172.3.5電性　182.3.6磁性　192.3.7能量　212.3.8量子效應　212.3.9生物醫學　232.4檢測與奈米科技發展關係　24．參考文獻　24第三章光子束檢測技術　273.1概述　273.1.1光的本質－波動與粒子的雙重性　273.1.2基於光學波動性質之光學顯微鏡　283.1.3影像技術鳥瞰　283.1.4突破繞射極限的光學顯微技術　293.1.5從空間解析到時間解析　323.1.6結語　333.2差動共焦顯微術　343.2.1基本原理　343.2.2技術規格與特徵　353.2.3應用與實例　423.2.4結語　513.3表面電漿子共振顯微術　513.3.1引言　523.3.2電漿子效應　543.3.3表面電漿子強化之螢光顯微術　573.3.4表面電漿子相位顯微術　603.3.5表面電漿子增強雙光子螢光顯微術　633.3.6結論　643.4非線性光學－多光子顯微術　643.4.1歷史沿革　643.4.2基本原理　653.4.3多光子顯微鏡的解析度　663.4.4應用與實例　673.4.5結論　713.5螢光光譜分析術　723.5.1基本原理　723.5.2技術規格與特徵　813.5.3螢光激發系統分類　863.5.4應用與實例　893.5.5結語　933.6拉曼光譜顯微術　943.6.1歷史　943.6.2基本原理　953.6.3共焦拉曼光譜顯微術　973.6.4掃描近場拉曼光譜顯微術　1013.6.5探針增強拉曼光譜顯微術　1033.6.6結論　1073.7相調反史托克拉曼散射顯微術　1083.7.1前言　1083.7.2基本原理　1103.7.3技術規格　1133.7.4應用與實例　1163.7.5結語　122．參考文獻　122第四章X 光檢測技術　1314.1概述　1314.2 X光繞射分析術　1324.2.1基本原理　1324.2.2影響 X光繞射峰的因素　1354.2.3卷積理論　1364.2.4技術規格與特徵　1464.2.5應用與實例　1464.2.6結語　1484.3　X光吸收光譜分析術　1484.3.1基本原理　1484.3.2技術規格與特徵　1534.3.3應用與實例　1544.3.4結語　1624.4X光光電子光譜法　1624.4.1簡介　1624.4.2束縛能　1634.4.3光電子的動能　1694.4.4儀器特徵　1704.4.5光譜特徵　1754.4.6定量分析　1804.4.7縱深資訊　1814.4.8結語　1854.5小角度X光散射分析術　1854.5.1基本原理　1854.5.2技術規格與特徵　1974.5.3應用與實例　2004.5.4結語　2024.6X光螢光分析術及X光全反射螢光光譜分析術　2024.6.1基本原理　2024.6.2技術規格與特徵　2044.6.3應用與實例　2094.6.4結語　2104.7X光反射率測量法　2114.7.1前言　2114.7.2基本原理　2124.7.3實驗方法　2164.7.4程式模擬　2184.7.5應用實例　2224.7.6結語　2254.8X光微聚焦光束技術　2254.8.1前言　2254.8.2X光光源　2274.8.3X光聚焦光學元件　2284.8.4微聚焦同步輻射光束線　2334.8.5X光微聚焦光束之應用　2364.8.6結語　244．參考文獻　245第五章離子束檢測技術　2535.1概述　2535.2二次離子質譜分析術　2545.2.1基本原理　2545.2.2技術規格與特徵　2575.2.3應用與實例　2605.2.4結語　2675.3拉塞福背向散射分析術　2685.3.1物理背景　2685.3.2實驗裝置　2695.3.3工作原理　2705.3.4參考實例　2745.3.5能量鑑別　2765.3.6氫的偵測　2775.3.7溝渠效應　2795.3.8結語　2835.4中能量離子散射分析術　2845.4.1簡介　2845.4.2基本原理　2855.4.3儀器設備　2885.4.4應用實例　2915.4.5結語　2945.5粒子誘發X光分析術　2945.5.1基本原理　2955.5.2儀器設備與量測　2995.5.3應用與實例　3035.5.4結語　313．參考文獻　313第六章電子束檢測技術　3176.1概述　3176.2掃描式電子顯微術　3186.2.1基本原理　3196.2.2技術規格與特徵　3266.2.3應用與實例　3266.2.4結語　3286.3穿透式電子顯微術　3286.3.1簡介　3286.3.2儀器特徵　3316.3.3影像的對比　3366.3.4掃描穿透式電子顯微鏡　3506.3.5結語　3536.4能量散佈分析術　3536.4.1前言　3536.4.2 X光產生原理　3536.4.3EDS儀器架構　3546.4.4無感時間　3576.4.5偽像　3586.4.6效率　3616.4.7 EDS量測模式　3616.4.8定性分析　3626.4.9定量分析　3656.4.10能量散佈光譜儀之特徵　3676.4.11EDS操作參數選擇　3696.4.12EDS實際應用　3706.4.13結語　3726.5電子能量損失光譜分析術　3726.5.1電子束與原子之間的作用　3726.5.2EELS構造與偵測原理　3736.5.3EELS能譜分析　3756.5.4定量分析　3776.5.5細微結構　3796.5.6能量過濾穿透式電子顯微鏡　3816.5.7空間解析度　3846.5.8結語　3856.6低能電子繞射分析術　3856.6.1基本原理　3856.6.2低能量電子繞射的理論　3876.6.3低能量電子繞射的實驗技術　3906.6.4應用與實例　3936.6.5結語　3956.7反射式高能電子分析術　3956.7.1基本原理　3966.7.2表面重組結構　3996.7.3RHEED 振盪現象　4006.7.4磊晶的應用　4026.7.5結語　4046.8奈米歐傑電子能譜表面分析技術　4046.8.1表面分析的基本觀念　4046.8.2歐傑電子能譜儀的基本觀念　4086.8.3應用實例　4116.9陰極螢光光譜分析術　4136.9.1基本原理　4136.9.2技術規格與特徵　4146.9.3應用與實例　4196.9.4結語　426．參考文獻　426第七章探針檢測技術　4317.1概述　4317.2掃描穿隧顯微術　4327.2.1基本原理　4327.2.2儀器結構　4367.2.3超高真空低溫 STM　4387.2.4場發射 STM　4397.2.5應用實例　4407.2.6結語　4477.3原子力顯微術　4487.3.1前言　4487.3.2基本原理　4497.3.3系統特徵與技術規格　4527.3.4應用與實例　4607.3.5結論　4647.4近場光學顯微術　4657.4.1基本原理與歷史　4657.4.2儀器架構　4677.4.3應用與實例　4727.4.4新近發展　4787.4.5結論　4817.5磁力顯微術　4837.5.1歷史介紹　4837.5.2操作原理　4847.5.3磁針與磁力來源　4867.5.4磁力與磁力顯微鏡影像模式　4927.6其他掃描探針顯微術　4947.6.1電性掃描探針顯微術　4947.6.2掃描電容顯微術　4957.6.3掃描電流顯微術　5037.6.4電力顯微術　5087.6.5壓電力顯微術　5097.6.6結語　512．參考文獻　512第八章其他檢測方法　5198.1中子繞射散射儀　5198.1.1中子繞射簡介　5198.1.2技術規格與特徵　5208.1.3基本原理　5228.1.4應用與實例　5258.1.5結語　5288.2奈米壓痕儀　5298.2.1基本原理　5308.2.2技術規格與特徵　5358.2.3應用與實例　5388.2.4結語　5468.3表面輪廓儀　5478.3.1前言　5478.3.2表面測量相關的發展　5488.3.3探針型表面輪廓量測　5498.3.4非接觸式表面形貌量測　5528.3.5結論　5578.4石英振盪器在奈米表面吸附分析之應用　5588.4.1基本原理　5588.4.2技術規格與特徵　5608.4.3應用與實例　5618.4.4結語　5628.5微懸臂樑於奈微米檢測之應用　5638.5.1微懸臂樑簡介　5638.5.2微懸臂樑靜態測試　5658.5.3微懸臂樑動態測試　5728.5.4注意事項　5778.5.5結論　5808.6光散射法測定粒徑與 zeta 電位　5808.6.1簡介　5808.6.2光散射　5818.6.3電泳光散射法　5918.6.4結語　5988.7BET 比表面積分析法　5998.7.1簡介　5998.7.2氣體吸附行為與等溫吸附脫附曲線　6008.7.3BET 表面積的量測原理　6038.7.4BET 理論適用之範圍　6098.7.5快速估計材料表面積－單點法　6098.7.6實際量測過程與注意事項　6118.7.7結論　612．參考文獻　612第九章前瞻性奈米檢測技術　6199.1結構顯微術　6199.1.1遠場光學奈米顯微術　6199.1.2原子探針斷層掃描　6259.1.3高角度環狀暗場掃描穿透式電子顯微鏡斷層掃描　6269.2結構特性分析術　6279.2.1電子奈米繞射　6279.3光學性質分析術　6289.3.1近場掃描光學奈微術　6289.3.2自旋體旋進的激發探測研究　6289.3.3法拉第旋轉之時間解析　6299.3.4發冷光的上轉換之時間分析　6309.4彈性特性分析術　6319.4.1侷限的聲頻聲子：低頻拉曼散射分析　6319.4.2奈米團簇的振動態之同步激發－時間解析頻譜儀　6329.5電子與電的特性分析術　6339.5.1表面探針顯微技術　6339.5.2延伸能量損失精細結構　6359.5.3X光光電子能譜術微探針　6359.6磁性特性分析術　6369.6.1硬X光光激發　6369.7結語　638．參考文獻　638