一般分類: 暢銷精選 > 科學科普 > 理工 
     
    微機電系統原理與應用(97/1)
    出版社:培生-高立
    出版日期:2008-01-01
    ISBN:9789864125432
    參考分類(CAT):
    參考分類(CIP): 電機工程
    優惠期限:2020-12-30

    優惠價:95折,741

    定價:  $780 

    無法訂購
    分享
      買了此商品的人,也買了....
    定價:680 元
    特價:95折!646
     
    定價:450 元
    特價:95折!428
     
    定價:420 元
    特價:85折!357
     
    定價:650 元
    特價:95折!618
     
    定價:500 元
    特價:95折!475
     
      | 內容簡介 |
    內容簡介
    本教科書有四個主要的目的: 1.獲得傳感器 (包含感測器與致動器) 相關的關鍵跨領域知識。讀者必須可以分析簡單的機電元件的主要性能,以及了解關於特殊設計工作的選擇與挑戰。 2.使讀者獲得充實的微製造技術之背景知識,以使得不具 MEMS相關背景的讀者也可以瞭解傳統MEMS 製程,以及許多新的應用新開發之MEMS製程。 3.透過許多典型實例之研讀,使讀者對於 MEMS一般的實務設計與製造流程有經驗。 4.獲得分析與實務上的知識以評估設計、製造、性能、強健性與價格之間的關聯點,進而成功地開發積體化的 MEMS元件。
    目次
    第一章 簡 介第二章 微製造導論第三章 基本電學與機械相關概念的回顧第四章 靜電感測與致動第五章 熱感測與熱致動第六章  壓阻式感測器第七章  壓電感測與致動原理第八章  磁性致動器第九章  感測器和致動器的總結第十章  體型微機械加工以及矽之非等向性蝕刻第十一章 面型微加工技術第十二章 高分子聚合物材料的微機電技術第十三章 微流體元件的應用第十四章 掃描式探針顯微儀器第十五章 光學微機電系統第十六章 微機電系統技術的管理附錄A  材料特性附錄B  橫樑與薄膜常用的公式英中文索引