本教科書有四個主要的目的： 1.獲得傳感器 (包含感測器與致動器) 相關的關鍵跨領域知識。讀者必須可以分析簡單的機電元件的主要性能，以及了解關於特殊設計工作的選擇與挑戰。 2.使讀者獲得充實的微製造技術之背景知識，以使得不具 MEMS相關背景的讀者也可以瞭解傳統MEMS 製程，以及許多新的應用新開發之MEMS製程。 3.透過許多典型實例之研讀，使讀者對於 MEMS一般的實務設計與製造流程有經驗。 4.獲得分析與實務上的知識以評估設計、製造、性能、強健性與價格之間的關聯點，進而成功地開發積體化的 MEMS元件。

第一章 簡　介第二章 微製造導論第三章 基本電學與機械相關概念的回顧第四章 靜電感測與致動第五章 熱感測與熱致動第六章　 壓阻式感測器第七章　 壓電感測與致動原理第八章　 磁性致動器第九章　 感測器和致動器的總結第十章　 體型微機械加工以及矽之非等向性蝕刻第十一章　面型微加工技術第十二章　高分子聚合物材料的微機電技術第十三章　微流體元件的應用第十四章　掃描式探針顯微儀器第十五章　光學微機電系統第十六章　微機電系統技術的管理附錄A　 材料特性附錄B　 橫樑與薄膜常用的公式英中文索引