固體材料的表面問題既已發展成一非常多樣化的科技，很多出版的參考書籍以專題深入探討或以工具書出現，不易為初學者所接受，也不適宜當教材之用。因此作者就重要的問題分成十二章討論。這十二章的結構實際上可以看成五個部份，第一部份為基礎篇，這些都是乾式氣相表面處理最常面臨的技術。第二部份為氣相技術篇，乃常見的乾式氣相表面處理技術。第三部份為液相技術篇，亦即最傳統的表面處理技術，包括無極鍍、化成、取代及電鍍和電鑄，陽極處理實際上相等於電化學反應的化成作用。第四部份為薄膜篇，包括薄膜的成長及微結構、薄膜的特性及量測。第五部份為前瞻篇，它們已脫離常見表面技術的章節，其中有微機電系統、奈米技術及表面的物理化學性質。本書適合大學、科大、技術學院機械工程、電機、電子材料、化學工程科系『薄膜技術』課程使用。

第1章　緒　論一、表面處理的意義二、表面處理的應用 三、表面處理的分類 四、技術選用考量因素五、結　語 第2章　基本設備一、溫度的量測 二、真空系統 第3章　認識電漿一、電漿的產生 二、電漿的特性 三、電漿的化學反應 四、電漿在表面技術上的應用 第4章　物理蒸鍍一、熱力學 二、氣體動力學 三、蒸　鍍 四、蒸鍍設備 五、合金蒸鍍六、化合物蒸鍍 七、應　用 第5章　濺射鍍膜一、前　言 二、粒子的撞擊 三、動能的轉移 四、撞擊效應 五、濺射的方法 六、濺射係數 七、濺射鍍膜技術 八、靶　材 九、濺鍍和熱蒸鍍的比較 十、應　用 第6章　化學氣相蒸鍍一、前　言 二、化學問題 三、熱力學的問題 四、化學動力學的問題 五、CVD設備及系統 六、應　用 第7章　液相表面處理一、前　言 二、前處理 三、無極電鍍 四、取代反應 五、化成被覆 六、電　鍍 七、陽極處理 八、電　鑄 九、廢水處理 第8章　薄膜的成長及微結構一、前　言 二、表面前清理 三、薄膜的成長 四、微結構 五、磊　晶 第9章　薄膜特性及量測一、前　言 二、厚　度 三、薄膜特性 四、表面分析儀器 五、其他表面分析儀器 第10章　表面蝕刻及微機電系統一、圖樣化及蝕刻 二、微機電系統 三、矽製程 第11章　奈米技術一、奈米材料 二、奈米科技發展史 三、奈米合成和表面技術 四、奈米材料之特徵五、奈米材料之應用 六、結　語 第12章　表面的物理化學性質一、前　言 二、表面張力 三、電　濕 四、L-B薄膜