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LTPS低溫複晶矽顯示器技術[2011年3月/2版/055...
編/著者:
陳志強
出版社:
全華
出版日期:
2011-02-28
ISBN:
9789572180372
參考分類(CAT):
其他化學工業
參考分類(CIP):
其他化學工業
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內容簡介
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內容簡介
本書為一本LTPS的入門書,分成三大部分:第一部份介紹LTPS結構,第二部份介紹LTPS技術開發與現況,第三部份介紹下世代顯示技術開發,作者以淺顯易懂之辭句,將LTPS原理與應用完整呈現,本書內容有:低溫複晶矽簡介、特性、結構、可靠度、LTPS氧化層技術、成膜技術、離子植入技術、低溫複晶矽面版開發現況、低耗電顯示技術、大面積低溫複晶矽之挑戰、主動式有機電激發光顯示技術、可撓曲低溫複晶矽顯示技術等,適合對LTPS低溫複晶矽顯示器技術有興趣之社會人士使用。 本書特色 1.LTPS低溫複晶矽顯示器技術是一本LTPS的入門書。 2.本書分成三大部分: 第一部份介紹LTPS結構 第二部份介紹LTPS技術開發與現況 第三部份介紹下世代顯示技術開發。 3.作者以淺顯易懂之辭句,將LTPS原理與應用完整呈現。
目次
第1章 諸論-低溫複晶矽的世代1.1 前 言1-11.2 平面顯示器之分類1-11.3 低溫複晶矽開發歷史1-61.4 低溫複晶矽之優勢1-9第2章 低溫複晶矽特性與結構2.1 前 言2-12.2 LTPS薄膜電晶體之特性2-12.3 低溫複晶矽畫素之結構2-102.4 廣視角畫素之結構2-25第3章 低溫複晶矽之可靠度3.1 前 言3-13.2 LTPS元件可靠度3-13.3 LTPS陣列可靠度3-203.4 陣列測試3-28第4章 LTPS氧化層技術4.1 前 言4-14.2 玻璃基板4-14.3 緩衝層4-124.4 閘極界電層4-154.5 層間界電層4-26第5章 LTPS複晶矽成膜技術5.1 前 言5-15.2 直接沈積型複晶矽5-25.3 再結晶型複晶矽5-65.4 雷射結晶系統5-135.5 複晶矽成膜機制5-165.6 結晶品質提升5-205.7 下一代複晶矽技術5-28第6章 LTPS離子植入技術6.1 前 言6-16.2 顯示器用植入系統6-16.3 汲極與源極端摻雜6-76.4 輕摻雜汲極端6-166.5 通道摻雜6-226.6 離子活化製程6-24第7章 低溫複晶矽面板開發現況7.1 前 言7-17.2 日本低溫複晶矽之開發7-17.3 韓國低溫複晶矽之開發7-347.4 台灣低溫複晶矽之開發7-41第8章 低耗電顯示技術8.1 前 言8-18.2 功率消耗8-18.3 薄膜二極體顯示器8-28.4 反射式液晶顯示器8-118.5 半透式液晶顯示器8-168.6 省電設計8-24第9章 大面積低溫複晶矽之挑戰9.1 前 言9-19.2 大面積玻璃基板9-19.3 前段陣列製程9-79.4 後段液晶製程9-199.5 背光模組9-309.6 高畫質驅動系統9-399.7 大面積主動式平面影像感測器9-44第10章 主動式有機電激發光顯示技術10.1 前 言10-110.2 AMOEL的歷史10-110.3 AMOEL驅動方式10-310.4 AMOEL彩色化與製造流程10-910.5 陰陽電極特性10-1710.6 OEL面板可靠性10-2210.7 有機發光二極體驅動設計10-25第11章 可撓曲低溫複晶矽顯示技術11.1 前 言11-111.2 玻璃基板之限制11-111.3 可撓曲主動元件11-911.4 可撓曲之低溫複晶矽11-1511.5 塑膠基板轉貼技術11-30第12章 低溫複晶矽的未來12.1 低溫複晶矽技術藍圖12-112.2 低溫複晶矽之挑戰12-412.3 結 語12-6附 錄