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    半導體奈米技術[2014年02/第三版/軟精裝]5D58
    編/著者： 龍文安
    出版社：五南
    出版日期：2014-02-18
    ISBN：9789571159362
    參考分類(CAT)：電機資訊類
    參考分類(CIP)： 其他化學工業

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      | 內容簡介 |
    內容簡介
    半導體製程已進入奈米線幅，而廣義微影技術為半導體製程之核心，惜國內尚無中文微影技術專書，因此決定教研之餘撰寫本書，以彌補此缺憾與空白，並為推動科技中文化，略盡個人棉薄。 　　本書重點在微影技術原理與概念之說明，而不在生產線上實務細節之描述。內容包括微影技術